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Pfeiffer Vacuum 真空产品系列

残余气体分析仪(RGA)四极杆质谱

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PrismaPlus 四级杆质谱

PrismaPlus 的创新

有着新亮点的高性能质谱仪!模块化设计,功能强大的软件,宽广的应用范围。

高灵敏度,高稳定性和智能化操作的完美结合是我们新质谱仪所增加的新亮点--真正的创新!它的模块化设计为您提供了宽广的应用选择范围,例如:工业和分析领域,研发,检漏,半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlus是从质量保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。

Quadera® 软件是另一个新的亮点。它不仅操作简单,而且还提供了捕获和观察所有测试数据以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的界面接口,例如以太网,数字式和模拟式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。我们全球的专业服务随时准备为您在PrismaPlus™的应用方面提供帮助。多年的客户服务和产品应用经验使得我们能够成为您最理想的合作伙伴。

在气体分析方面的新亮点!


优点一览

模块化设计提供了产品最好的适应性

结构紧凑,性能出众

多种界面接口,系统集成简单

可通过以太网网络化

测试过程快速稳定,解析度高

分析器以及电子的可替换性

双灯丝设计保证最大的可靠性

最低的可检测分压达 1x10-14 mbar

可连接普发公司的全压真空规

Quadera®软件操作直观

全球技术支持和现场服务

 

应用范围

PrismaPlus™非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析:

冶金

真空炉

加速器

溅射工艺分析

半导体生产

玻璃镀膜

研发

真空工艺系统

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技术参数

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HiCubeRGA 技术参数

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产品尺寸

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在线质谱分析仪 OmniStarTM/ThermoStarTM


全新的气体分析系统

模块化设计智能化软件

多样化应用

 

现在质谱分析已经成为鉴别化学成分和化合物的最广泛的分析方法之一。随着新的OmniStar和ThermoStar台式分析系统推向市场,普发真空为您提供了两款优化的、完整的气体分析方案,特别适用于化工、半导体工业、冶金、发酵、催化、激光技术和环境分析等领域。

 

产品优点

 

气体定性和定量分析,具有标定气体进入系统的连接端口

检测极限低(< 1 ppm),甚至适用于冷凝气体

集成设计、操作简单

耐高温的毛细管进样,可达到350°C

系统可烘烤全金属气密高真空室,降低水分背景

密闭离子源和场轴技术,产生极高的灵敏度

借助于谱图数据库可靠地识别未知气体

可同时分析128个质量数

质量范围 1-100 amu, 1-200 amu 和 1-300 amu

进样压力应用范围可由真空到大气压

可选各种压力调节进样系统

快速、可靠、精确地分析共价惰性气体

 

应用领域

 

化工

半导体工业

冶金

发酵

催化

激光技术

 环境分析

燃料电池分析

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技术

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